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潔凈室空調采用循環空氣方式

更新時間:2012-12-04點擊次數:2647

FFU層流罩之潔凈室亂流式:

  空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。  
  
        優點:構造簡單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。

  缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

    FFU層流罩之集中式潔凈空調系統是無塵凈化工程的潔凈設備(如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效空氣過濾器、風機等)集中設計在空調機房內,用風管將潔凈空氣送進各個潔凈室。分散式潔凈空調系統是在一般的空調環境或低級別潔凈空調環境中,設置凈化設備或潔凈空調設備(如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺等).在半導體芯片工廠或其他生產過程要求高潔凈度的潔凈廠房中,其潔凈空調系統采用循環空氣方式,其循環方式主要有集中式、隧道式、風機過濾單(FFU)方式和微環境+開放式潔凈室方式等。這些送風方式既可以滿足高潔凈度要求,還可以不同程度地減小能耗。

   LED/液晶/線路板制造是一種高度精密化的工業,一些細微的環境或操作變動都有可能影響其制造成品的質量,因此制造過程均要求在嚴格控制下的潔凈室中操作。潔凈室是一個采用層層過濾以去除空氣中微粒存在,并控制室內溫度與濕度于恒定狀態的密閉空間。


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